自制去離子水的方法是自來水先透過石英砂過濾顆粒較粗的雜質。然後高壓透過反滲透膜。最後一般還要經過紫外殺菌以去除水中的微生物。假如此時電阻率還沒有達到要求的話，可以再進行一次離子交換過程最高電阻率可達到18兆。相對而言，蒸餾水只是先氣化再冷凝，其純度如電阻率一般不如純度高的去離子水，半導體工業中用的大多數是高純度的去離子水。
自制去離子水的方法是自來水先透過石英砂過濾顆粒較粗的雜質。然後高壓透過反滲透膜。最後一般還要經過紫外殺菌以去除水中的微生物。假如此時電阻率還沒有達到要求的話，可以再進行一次離子交換過程最高電阻率可達到18兆。相對而言，蒸餾水只是先氣化再冷凝，其純度如電阻率一般不如純度高的去離子水，半導體工業中用的大多數是高純度的去離子水。
1、去離子水：去離子水是指除去了呈離子形式雜質後的純水。國際標準化組織ISO/TC147規定的“去離子”定義為：“去離子水完全或不完全地去除離子物質。”如今的工藝主要採用RO反滲透的方法制取。應用離子交換樹脂去除水中的陰離子和陽離子，但水中仍然存在可溶性的有機物，可以汙染離子交換柱從而降低其功效，去離子水存放後也容易引起細菌的繁殖。
2、蒸餾水：蒸餾水是指經過蒸餾、冷凝操作的水，蒸二次的叫重蒸水，三次的叫三蒸水。低耗氧量的水，加入高錳酸鉀與酸工業蒸餾水是採用蒸餾水方法取得。蒸餾是一種熱力學的分離工藝，它利用混合液體或液-固體系中各組分沸點不同，使低沸點組分蒸發，再冷凝以分離整個組分的單元操作過程，是蒸發和冷凝兩種單元操作的聯合。與其它的分離手段，如萃取、過濾結晶等相比，它的優點在於不需使用系統組分以外的其它溶劑，從而保證不會引入新的雜質。
1、本質不同：蒸餾水是用蒸餾方式製成的純水；而去離子水是除去了呈離子形式雜質後的純水。
2、形成方式不同：去離子水是透過離子交換樹脂除去水中的離子態雜質而得到的近乎於純淨的水。蒸餾水是把源水煮沸後另其蒸發冷凝回收，這個過程會耗費大量熱能。
3、作用不同：蒸餾水不導電，可以保證機器執行穩定從而延長電器壽命。去離子水多是化學實驗室用水，以供一般實驗室的常規試驗。
4、用途不同：蒸餾水多用於生活、醫藥行業和實驗室;而去離子水多用於實驗室、電子工業生產和石油化工行業。去離子水在現代工業中有著非常廣泛的用，途由於去離子水中的離子數可以被人為的控制，從而使它的電阻率、溶解度、腐蝕性、病毒細菌等指標得到良好的控制。所以在工業生產和實驗室的實驗中，使用去離子水回事引數結果更接近理想資料，產品質量也更容易控制。