平面度怎麼測量

　　平面度是指基片具有的宏觀凹凸高度相對理想平面的偏差。平面度測量是指被測實際表面對其理想平面的變動量。

　　測量方法：

　　1、塞尺測量法。塞尺主要用於間隙間距的測量，對平面度的測量只能進行粗測。塞尺使用前必須先清除塞尺和工件上的汙垢與灰塵。使用時可用一片或數片重疊插入間隙，以稍感拖滯為宜。測量時動作要輕，不允許硬插。由於其精度不高，檢測效率較低，結果不夠全面，只能檢測零件邊緣。

　　2、液平面法。液平面法是用液平面作為測量基準面，液平面由 “連通罐”內的液麵構成，然後用感測器進行測量。基於連通器工作原理，適合測量連續或不連續的大平面的平面度，但測量時間長，且對溫度敏感，僅適用於測量精度較低的平面。

　　3、打表測量法。打表測量法是將被測零件和測微計放在標準平板上，以標準平板作為測量基準面，用測微計沿實際表面逐點或沿幾條直線方向進行測量。

　　用光學平晶的工作面體現理想平面，直接以干涉條紋的彎曲程度確定被測表面的平面度誤差值。主要用於測量小平面，如量規的工作面和千分尺測頭測量面的平面度誤差。

　　平面是由直線組成的，因此直線度測量中直尺法、光學準直法、光學自準直法、重力法等也適用於測量平面度誤差。測量平面度時，先測出若干截面的直線度。

　　形狀公差是指單一實際要素的形狀所允許的變動全量，位置公差是指實際位置對理想位置的允許變動量。兩者簡稱形位公差。

　　形狀公差用形狀公差帶表達。形狀公差帶包括公差帶形狀、方向、位置和大小等四要素。

　　形狀公差專案有：直線度、平面度、圓度、圓柱度、線輪廓度、面輪廓度等6項。