光刻技術的原理:積體電路製造中利用光學、化學反應原理和化學、物理刻蝕方法,將電路圖形傳遞到單晶表面或介質層上,形成有效圖形視窗或功能圖形的工藝技術。
隨著半導體技術的發展,光刻技術傳遞圖形的尺寸限度縮小了2至3個數量級,已從常規光學技術發展到應用電子束、 X射線、微離子束、鐳射等新技術;使用波長已從4000埃擴充套件到 0.1埃數量級範圍。
光刻技術的原理:積體電路製造中利用光學、化學反應原理和化學、物理刻蝕方法,將電路圖形傳遞到單晶表面或介質層上,形成有效圖形視窗或功能圖形的工藝技術。
隨著半導體技術的發展,光刻技術傳遞圖形的尺寸限度縮小了2至3個數量級,已從常規光學技術發展到應用電子束、 X射線、微離子束、鐳射等新技術;使用波長已從4000埃擴充套件到 0.1埃數量級範圍。
1、光刻機制作晶片的過程,基本和“沖印照片”一樣。假設拍的是風景,膠片上會有曝光痕跡,先要在暗室裡顯影,讓風景在膠片上顯示出來。然後在紅光下透過放大機,把膠片上的風景投射到相紙上,讓相紙曝光。再透過相紙的顯影、定影、烘乾得到最終的照片。除了風景之外,“照片沖印”需要有膠片,有光源、放大機、相紙。
2、對光刻機來說,所謂“風景”就是設計好的積體電路圖(IC),“膠片”就是一塊石英板(光罩),用來記錄積體電路圖,“相紙”就是矽晶圓,“放大機”就相當於光刻機。
3、所不同的是,洗照片是放大,把小膠片放大到相紙上,光刻機是縮小,把電路圖縮小到晶圓上。
4、在光刻機領域,有三家國際大牌:荷蘭ASML(艾斯摩爾),日本Nikon(尼康),日本Canon(佳能)。但高階光刻機市場,荷蘭ASML是無可爭議的世界霸主,把第二名都甩得很遠,因為技術難度太高、需要的投資太大,尼康、佳能已經放棄EUV光刻機的研發。
1、光刻機制作晶片的過程,基本和“沖印照片”一樣。假設拍的是風景,膠片上會有曝光痕跡,先要在暗室裡顯影,讓風景在膠片上顯示出來。然後在紅光下透過放大機,把膠片上的風景投射到相紙上,讓相紙曝光。再透過相紙的顯影、定影、烘乾得到最終的照片。除了風景之外,“照片沖印”需要有膠片,有光源、放大機、相紙。
2、對光刻機來說,所謂“風景”就是設計好的積體電路圖(IC),“膠片”就是一塊石英板(光罩),用來記錄積體電路圖,“相紙”就是矽晶圓,“放大機”就相當於光刻機。
3、所不同的是,洗照片是放大,把小膠片放大到相紙上,光刻機是縮小,把電路圖縮小到晶圓上。
4、在光刻機領域,有三家國際大牌:荷蘭ASML(艾斯摩爾),日本Nikon(尼康),日本Canon(佳能)。但高階光刻機市場,荷蘭ASML是無可爭議的世界霸主,把第二名都甩得很遠,因為技術難度太高、需要的投資太大,尼康、佳能已經放棄EUV光刻機的研發。