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光刻技術的原理是什麼

光刻技術的原理是什麼

  光刻技術的原理:積體電路製造中利用光學、化學反應原理和化學、物理刻蝕方法,將電路圖形傳遞到單晶表面或介質層上,形成有效圖形視窗或功能圖形的工藝技術。

  隨著半導體技術的發展,光刻技術傳遞圖形的尺寸限度縮小了2至3個數量級,已從常規光學技術發展到應用電子束、 X射線、微離子束、鐳射等新技術;使用波長已從4000埃擴充套件到 0.1埃數量級範圍。

光刻機原理 進來看看

  1、光刻機制作晶片的過程,基本和“沖印照片”一樣。假設拍的是風景,膠片上會有曝光痕跡,先要在暗室裡顯影,讓風景在膠片上顯示出來。然後在紅光下透過放大機,把膠片上的風景投射到相紙上,讓相紙曝光。再透過相紙的顯影、定影、烘乾得到最終的照片。除了風景之外,“照片沖印”需要有膠片,有光源、放大機、相紙。

  2、對光刻機來說,所謂“風景”就是設計好的積體電路圖(IC),“膠片”就是一塊石英板(光罩),用來記錄積體電路圖,“相紙”就是矽晶圓,“放大機”就相當於光刻機。

  3、所不同的是,洗照片是放大,把小膠片放大到相紙上,光刻機是縮小,把電路圖縮小到晶圓上。

  4、在光刻機領域,有三家國際大牌:荷蘭ASML(艾斯摩爾),日本Nikon(尼康),日本Canon(佳能)。但高階光刻機市場,荷蘭ASML是無可爭議的世界霸主,把第二名都甩得很遠,因為技術難度太高、需要的投資太大,尼康、佳能已經放棄EUV光刻機的研發。

光刻機原理

  1、光刻機制作晶片的過程,基本和“沖印照片”一樣。假設拍的是風景,膠片上會有曝光痕跡,先要在暗室裡顯影,讓風景在膠片上顯示出來。然後在紅光下透過放大機,把膠片上的風景投射到相紙上,讓相紙曝光。再透過相紙的顯影、定影、烘乾得到最終的照片。除了風景之外,“照片沖印”需要有膠片,有光源、放大機、相紙。

  2、對光刻機來說,所謂“風景”就是設計好的積體電路圖(IC),“膠片”就是一塊石英板(光罩),用來記錄積體電路圖,“相紙”就是矽晶圓,“放大機”就相當於光刻機。

  3、所不同的是,洗照片是放大,把小膠片放大到相紙上,光刻機是縮小,把電路圖縮小到晶圓上。

  4、在光刻機領域,有三家國際大牌:荷蘭ASML(艾斯摩爾),日本Nikon(尼康),日本Canon(佳能)。但高階光刻機市場,荷蘭ASML是無可爭議的世界霸主,把第二名都甩得很遠,因為技術難度太高、需要的投資太大,尼康、佳能已經放棄EUV光刻機的研發。


5nm機的原理

  1、光刻機可以分為用於生產晶片、用於封裝和用於LED製造。按照光源和發展前後,依次可分為紫外光源(UV)、深紫外光源(DUV)、極紫外光源(EUV),光源的波長影光刻機的工藝。光刻機可分為接觸式光刻、直寫式光刻、投影式光刻。   2、原理:接近或接觸式光刻透過無限靠近,複製掩模板上的圖案;直寫式光刻是將光 ...

機工作原理

  1、測量臺、曝光臺:是承載矽片的工作臺。   2、鐳射器:也就是光源,光刻機核心裝置之一。   3、光束矯正器:矯正光束入射方向,讓鐳射束儘量平行。   4、能量控制器:控制最終照射到矽片上的能量,曝光不足或過足都會嚴重影響成像質量。   5、光束形狀設定:設定光束為圓型、環型等不同形狀,不同的光束狀態有 ...

的色散原理是什麼

  色散的原理是光的折射。在自然界中,太陽光是白光。當太陽光的白光透過稜鏡後被分解成各種顏色的光,假如用白屏來承接,在白屏上就形成一條彩色的光帶,這些光帶的顏色依次是紅、橙、黃、綠、藍、靛、紫。這種現象叫做光的色散。   光的色散指的是複色光分解為單色光的現象。由兩種或兩種以上的單色光組成的光(由兩種或兩種以 ...

的散射原理

  光的散射原理:光透過不均勻介質時一部分光偏離原方向傳播的現象,偏離原方向的光稱為散射光,散射光頻率不發生改變的有丁鐸爾散射、分子散射,頻率發生改變的有拉曼散射、布里淵散射和康普頓散射等。   丁達爾散射首先由J.丁達爾研究,是由均勻介質中的懸浮粒子,如空氣中的煙霧、塵埃以及浮濁液、膠體等引起的散射。真溶液 ...

佳能機多少奈米

  佳能光刻機22奈米,光刻機是製造微機電、光電、二極體大規模積體電路的關鍵裝置。光刻機可以分鐘兩種,分別是模板和圖樣大小一致的contactaligner,曝光時模板緊貼晶片;第二是類似投影機原理的stepper,獲得比模板更小的曝光圖樣。   國內目前做光刻機的主要有上海微電子裝備有限公司、中子科技集團公 ...

荷蘭機為什麼厲害

  1、強大的研發投入:光刻機是一個高精尖的技術,其技術難度是全球公認的,如果沒有持續強大的研發投入根本不可能到技術領先。ASML從成立至今,對於研發的投入都非常大,比如2019年ASML的銷售額大概是21億歐元,而研發費用支出就達到了4.8億歐元,研發費用佔營收的比例達到22.8%,這個比例是非常高的,正因 ...

區塊鏈技術原理與應用

  1、區塊鏈是一串使用密碼學方法相關聯產生的資料塊,每一個數據塊中包含了過去十分鐘內所有比特幣網路交易的資訊,用於驗證其資訊的有效性(防偽)和生成下一個區塊。是比特幣的底層技術,像一個數據庫賬本,記載所有的交易記錄。   2、廣義定義:利用加密鏈式結構來驗證與儲存資料、利用分散式節點共識演算法來生成和更新資 ...