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5nm光刻機的原理

5nm光刻機的原理

  1、光刻機可以分為用於生產晶片、用於封裝和用於LED製造。按照光源和發展前後,依次可分為紫外光源(UV)、深紫外光源(DUV)、極紫外光源(EUV),光源的波長影光刻機的工藝。光刻機可分為接觸式光刻、直寫式光刻、投影式光刻。

  2、原理:接近或接觸式光刻透過無限靠近,複製掩模板上的圖案;直寫式光刻是將光束聚焦為一點,透過運動工件臺或鏡頭掃描實現任意圖形加工。投影式光刻光刻因其高效率、無損傷的優點,是積體電路主流光刻技術。

光刻機原理 進來看看

  1、光刻機制作晶片的過程,基本和“沖印照片”一樣。假設拍的是風景,膠片上會有曝光痕跡,先要在暗室裡顯影,讓風景在膠片上顯示出來。然後在紅光下透過放大機,把膠片上的風景投射到相紙上,讓相紙曝光。再透過相紙的顯影、定影、烘乾得到最終的照片。除了風景之外,“照片沖印”需要有膠片,有光源、放大機、相紙。

  2、對光刻機來說,所謂“風景”就是設計好的積體電路圖(IC),“膠片”就是一塊石英板(光罩),用來記錄積體電路圖,“相紙”就是矽晶圓,“放大機”就相當於光刻機。

  3、所不同的是,洗照片是放大,把小膠片放大到相紙上,光刻機是縮小,把電路圖縮小到晶圓上。

  4、在光刻機領域,有三家國際大牌:荷蘭ASML(艾斯摩爾),日本Nikon(尼康),日本Canon(佳能)。但高階光刻機市場,荷蘭ASML是無可爭議的世界霸主,把第二名都甩得很遠,因為技術難度太高、需要的投資太大,尼康、佳能已經放棄EUV光刻機的研發。

光刻機原理

  1、光刻機制作晶片的過程,基本和“沖印照片”一樣。假設拍的是風景,膠片上會有曝光痕跡,先要在暗室裡顯影,讓風景在膠片上顯示出來。然後在紅光下透過放大機,把膠片上的風景投射到相紙上,讓相紙曝光。再透過相紙的顯影、定影、烘乾得到最終的照片。除了風景之外,“照片沖印”需要有膠片,有光源、放大機、相紙。

  2、對光刻機來說,所謂“風景”就是設計好的積體電路圖(IC),“膠片”就是一塊石英板(光罩),用來記錄積體電路圖,“相紙”就是矽晶圓,“放大機”就相當於光刻機。

  3、所不同的是,洗照片是放大,把小膠片放大到相紙上,光刻機是縮小,把電路圖縮小到晶圓上。

  4、在光刻機領域,有三家國際大牌:荷蘭ASML(艾斯摩爾),日本Nikon(尼康),日本Canon(佳能)。但高階光刻機市場,荷蘭ASML是無可爭議的世界霸主,把第二名都甩得很遠,因為技術難度太高、需要的投資太大,尼康、佳能已經放棄EUV光刻機的研發。


佳能多少奈米

  佳能光刻機22奈米,光刻機是製造微機電、光電、二極體大規模積體電路的關鍵裝置。光刻機可以分鐘兩種,分別是模板和圖樣大小一致的contactaligner,曝光時模板緊貼晶片;第二是類似投影機原理的stepper,獲得比模板更小的曝光圖樣。   國內目前做光刻機的主要有上海微電子裝備有限公司、中子科技集團公 ...

荷蘭為什麼厲害

  1、強大的研發投入:光刻機是一個高精尖的技術,其技術難度是全球公認的,如果沒有持續強大的研發投入根本不可能到技術領先。ASML從成立至今,對於研發的投入都非常大,比如2019年ASML的銷售額大概是21億歐元,而研發費用支出就達到了4.8億歐元,研發費用佔營收的比例達到22.8%,這個比例是非常高的,正因 ...

用來幹嘛

  1、用途。   光刻機是晶片製造的核心裝置之一,按照用途可以分為好幾種:有用於生產晶片的光刻機;有用於封裝的光刻機;還有用於LED製造領域的投影光刻機。   用於生產晶片的光刻機是中國在半導體裝置製造上最大的短板,國內晶圓廠所需的高階光刻機完全依賴進口,本次廈門企業從荷蘭進口的光刻機就是用於晶片生產的裝置 ...

中國的新突破

  1、晶片設計的研究與開發離不開光刻機,特別是具有先進工藝技術的晶片。但ASML是全球先進平版印刷市場之上的巨頭。此前,中芯國際還花了很多錢購買了一臺先進的平版印刷機。但由於美國的原因,ASML光刻機無法順利進入中國,這也給我國7Nm及更先進的工藝技術晶片的發展帶來了更嚴峻的挑戰。要知道,我國目前的量產光刻 ...

到底難在哪裡

  1、難在它的製造精度,為了便於形象地解釋,光刻機制造晶片的過程就相當於“沖洗照片”。設計好的積體電路的電路圖相當於照片的“拍攝的內容”,晶圓就相當於“相紙”,光刻機的其它機構就相當於與照相機的“鏡頭機構”。   2、不同的是洗照片是將照片放大呈現到相紙上,製造晶片是將設計的積體電路微縮到晶圓上拇指大小的區 ...

是誰發明的

  法國人Nicephore niepce。儘管光刻機發明的時間較早,但並沒有在各行業領域之中被使用,直到第2次世界大戰時,該技術應用於印刷電路板,所使用的材料和早期發明時使用的材料也已經有了極大區別,在塑膠板上透過銅線路製作,讓電路板得以普及,短期之內就成為了眾多電子裝置領域中關鍵材料之一。   光刻機:光 ...

是幹什麼用的

  1、光刻機是晶片製造的核心裝置之一,按照用途可以分為好幾種:有用於生產晶片的光刻機;有用於封裝的光刻機;還有用於LED製造領域的投影光刻機。   2、用於生產晶片的光刻機是中國在半導體裝置製造上最大的短板,國內晶圓廠所需的高階光刻機目前完全依賴進口。   3、光刻機(Mask Aligner) 又名:掩模 ...